H01J 37/00 - Разрядные приборы с устройствами для ввода объектов или материалов, подлежащих воздействию разряда, например с целью их исследования или обработки (H01J 33/00,H01J 40/00,H01J 41/00,H01J 47/00,H01J 49/00 имеют преимущество; исследование или анализ поверхностных структур на атомном уровне с использованием техники сканирующего зонда G01N 13/10, например растровая туннельная микроскопия G01N 13/12; бесконтактные испытания электронных схем с использованием электронных пучков G01R 31/305; детали устройств, использующих метод сканирующего зонда вообще G12B 21/00) [2,5]

---

37/02

.

элементы конструкции

37/04

.

.

электродные и другие связанные с ними устройства для генерирования разряда и управления им, например электронно-оптические устройства, ионно-оптические устройства

37/05

.

.

.

электронно- или ионно-оптические устройства для разделения электронов или ионов в соответствии с их энергией (трубки для разделения частиц H01J 49/00) [3]

37/06

.

.

.

источники электронов; электронные пушки

37/063

.

.

.

.

геометрическое устройство электродов для формирования лучей [3]

37/065

.

.

.

.

конструкция электронных пушек или их частей (H01J 37/067-H01J 37/077 имеют преимущество) [3]

37/067

.

.

.

.

замена частей электронных пушек; регулировка положения электродов относительно друг друга (H01J 37/073-H01J 37/077 имеют преимущество; вакуумные затворы H01J 37/18) [3]

37/07

.

.

.

.

устранение вредных эффектов, вызванных действием температуры, электрического или магнитного полей (H01J 37/073-H01J 37/077 имеют преимущество) [3]

37/073

.

.

.

.

электронные пушки с использованием источника электронов с автоэлектронной эмиссией, фотоэмиссией или вторичной эмиссией [3]

37/075

.

.

.

.

электронные пушки с использованием термоионной эмиссии с катодов, нагреваемых за счет бомбардировки частицами или облучения, например лазерами [3]

37/077

.

.

.

.

электронные пушки с использованием разряда в газах или парах в качестве источников электронов [3]

37/08

.

.

.

источники ионов; ионные пушки

37/09

.

.

.

диафрагмы; экраны, связанные с электронно- или ионно-оптическими устройствами; компенсация возмущающих полей [3]

37/10

.

.

.

линзы

37/12

.

.

.

.

электростатические

37/14

.

.

.

.

магнитные

37/141

.

.

.

.

.

с электромагнитами [3]

37/143

.

.

.

.

.

с постоянными магнитами [3]

37/145

.

.

.

.

комбинации электростатических и магнитных линз [3]

37/147

.

.

.

устройства для направления или отклонения разряда вдоль требуемого пути (линзы H01J 37/10) [2]

37/15

.

.

.

.

механическая регулировка извне электронно- или ионно-оптических элементов конструкции (H01J 37/067, H01J 37/20 имеют преимущество) [3]

37/153

.

.

.

электронно-оптические или ионно-оптические устройства для коррекции дефектов изображения, например стигматоры [2]

37/16

.

.

баллоны; колбы

37/18

.

.

вакуумные затворы

37/20

.

.

устройства для крепления или управления положением объекта или материала; устройства для регулирования диафрагм или линз, конструктивно сопряженных с опорой (подготовка образцов для исследований G01N 1/28)

37/21

.

.

приспособления для фокусировки [2]

37/22

.

.

оптические или фотографические устройства, конструктивно сопряженные с прибором

37/24

.

.

общие схемы, не предназначенные для какого-либо специального применения и не отнесенные к другим рубрикам

37/244

.

.

детекторы; связанные составные части или схемы для них [3]

37/248

.

.

составные части, связанные с питанием высоким напряжением (устройства питания высоким напряжением вообще H02J,H02M) [3]

37/252

.

приборы для анализирования пятна с помощью электронных или ионных лучей; микроанализаторы (исследование или анализ с использованием вторичной эмиссии G01N 23/22) [3]

37/256

.

.

с использованием сканирующих лучей [3]

37/26

.

электронные или ионные микроскопы, трубки с дифракцией электронов или ионов [2]

37/27

.

.

теневая микроскопия [3]

37/28

.

.

со сканирующими лучами (микроанализаторы со сканирующими лучами H01J 37/256)

37/285

.

.

эмиссионные микроскопы, например автоэлектронные микроскопы [2]

37/29

.

.

зеркальные (отражательные) электронные микроскопы [2]

37/295

.

.

дифракционные трубки с отклонением ионов или электронов [2]

37/30

.

электронно-лучевые или ионно-лучевые приборы для местной обработки объектов

37/301

.

.

устройства, дающие возможность лучам проходить между областями с различным давлением [3]

37/302

.

.

управление приборами с помощью информации, поступающей извне, например программное управление (H01J 37/304 имеет преимущество) [3]

37/304

.

.

управление приборами с помощью информации, поступающей от объекта, например сигналов коррекции [3]

37/305

.

.

для литья, расплавления, испарения, гравировки или травления [2]

37/31

.

.

для резания или сверления [2]

37/315

.

.

для сварки [2]

37/317

.

.

для изменения свойств объектов или для нанесения тонких слоев на них, например ионное внедрение (H01J 37/36 имеет преимущество) [3]

37/32

.

газонаполненные разрядные приборы (нагрев за счет разряда H05B)

37/34

.

.

работающие с катодным распылением (H01J 37/36 имеет преимущество) [3]

37/36

.

.

для очистки поверхностей в процессе покрытия материалов ионами, вводимыми в разрядное пространство, например путем испарения [3]